半導(dǎo)體酸性廢氣來源：

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的酸性廢氣主要來源于清洗工序，其中使用的清洗劑溶劑中含有大量酸性廢氣，主要成分為硝酸，硫酸，氫氟酸等，在工藝過程中，這些大部分通過揮發(fā)成為廢氣排放。

半導(dǎo)體酸性廢氣處理方法：

堿液體二級噴淋法，又稱化學(xué)洗滌法。

因液體自身具有的溶解特性，可以更好地利用酸堿中和去除污染物，而達(dá)到大氣排放標(biāo)準(zhǔn)，故噴淋法是半導(dǎo)體行業(yè)酸堿廢氣治理普遍采用的主要處理方法。

半導(dǎo)體酸性廢氣處理工作原理：

通過設(shè)備直接連接將廢氣收集起來，在風(fēng)機的作用下將廢氣源源不斷向凈化設(shè)備輸送，再經(jīng)過通風(fēng)管道的輸送作用，使廢氣輸送到系統(tǒng)的噴淋塔內(nèi)，氣體在噴淋塔塔內(nèi)經(jīng)過堿性洗液的噴淋洗滌過程，廢氣中所含有的容易產(chǎn)生酸霧的氣體成份充分與堿性水霧接觸混合并且發(fā)生中和反應(yīng)，并且形成較好的氣液兩相交和。經(jīng)過噴淋后的水霧再在洗滌塔內(nèi)的填料層內(nèi)形成一個多孔接觸面較大的處理層，從而進(jìn)一步對酸霧進(jìn)行治理。

半導(dǎo)體酸性廢氣處理設(shè)備優(yōu)點：

⑴半導(dǎo)體酸性廢氣處理設(shè)備工藝簡單，造價低，運行費用少，安裝方便，耐腐蝕；

⑵性能穩(wěn)定，除塵效率高，脫硫效果好；

⑶重量輕，便于安裝、運輸及維修管理；

⑷特別適應(yīng)水溶性含塵氣體；